3D-Oberflächenmesstechnik für die industrielle Qualitätssicherung

Der NetGAGE3D-Sensoren sind wegen ihrerr Robustheit gegenüber der Beschaffenheit von Oberflächen vielseitig einsetzbar. Unterschiedlichste Materialien in verschiedenen Bearbeitungszuständen und auch durchscheinende Objekte sind berührungslos auf wenige Mikro- oder sogar Nanometer genau messbar. Die Produktfamilie der NetGAGE3D-Sensoren deckt dabei auf Grund ihrer universellen Bauweise und in ihren verschiedenen Modifikationen einen großen Anwendungsbereich ab:

- Sicherung der Qualität an Produktionsbändern (100% Kontrolle)
- Messungen an elektronischen Bauteilen und Komponenten
- Vermessung von optischen Komponenten wie Linsen, Spiegeln, etc.
- Vermessung von Einzelstücken zur Formerfassung und Kontrolle
- Messung auch an Keramik, Silikon, menschlicher Haut und Gummi
- Rauheitsmessungen zur Qualitätskontrolle
- Messung an kunsthistorischen Objekten

Die Mess- und Auswertesoftware Soft^3D kann über die integrierte DCOM-Schnittstelle von anderen Programmen aus vollständig gesteuert werden.

Messprinzip: Weißlicht-Interferometrie

NetGAGE3D ist ein kompakter Messkopf dessen Messprinzip auf der Weißlichtinterferometrie beruht. Dabei wird die Weglänge des auf der Objektoberfläche reflektierten oder gestreuten Lichts mit einer Referenzweglänge verglichen. Beim patentierten Messvorgang wird der Messkopf in z-Richtung verfahren und das Objekt abgescannt.

So erhält man ein "Tiefenbild" des Objektes mit einer sehr geringen Messunsicherheit. Es vereinigt die Vorteile bekannter taktiler Sensoren mit den Vorteilen optischer Sensoren: hohe Messgenauigkeit und berührungslose Abtastung mit einer hohen Datenrate.

Technische Details:
- Laterales Messfeld von 2 x 2 mm² bis 110 x 110 mm²
- Laterale Auflösung von 1 µm bis 100 µm
- Longitudinaler Messbereich bis zu 100 mm
- Longitudinale Messunsicherheit:
- Auf optisch rauen Oberflächen: typischerweise 1 µm (Objektrauigkeit)
- Auf optisch glatten Oberflächen: bis zu 200 nm
- Messgeschwindigkeit bis zu 500 µm/s (longitudinal)
- Messzeit: Taktraten von < 1,5 sec möglich

Anwendungsbereiche:
- Qualitätskontrolle
- Rauheitsmessungen
- Oberflächeninspektion
- Hautmessungen

Besondere Merkmale:
- Kompakter Messkopf
- Flexibler Aufbau
- Keine Abschattungen
- Komfortable Software

Messbeispiele

Durch koaxiale Beleuchtung werden Abschattungen vermieden. Tiefliegende Flächen von Bohrlöchern lassen sich dadurch problemlos vermessen. Die Abbildung zeigt ein Beispiel für die Vermessung von verschiedenen kegelförmigen Flächen in einer insgesamt etwa 10 mm tiefen Bohrung. Bei einer ähnlichen Anwendung wurden Kegelflächen in einer 40 mm tiefen Bohrung mit einem Durchmesser von 3 mm vermessen.

Farbcodiertes Höhenbild einer Dichtfläche. Messung zur Ebenheitsprüfung und Schadensdetektion an der Fläche.

3D-Darstellung eines Bump-Arrays: vermessen mit dem NetGAGE3D MXS13 zur 100%-Inspektion in der Produktion.

3D-Darstellung einer welligen Glasplatte.
FLABEG Solarglas GmbH & Co. KG

Gerne führen wir für Sie Testmessungen an Musterteilen durch, um die Einsatzmöglichkeiten von NetGAGE3D zu klären. Bei Bedarf können weitere laterale Messfelder und longitudinale Messbereiche realisiert werden. Senden Sie Ihre Anfrage einfach an info@3d-shape.com.

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Hochpräzise Weißlichtinterferometer für die Qualitätssicherung

Messprinzip: Weißlicht-Interferometrie

Messbeispiele